中科院微电子所KW型匀胶机适应于半导体硅片,载坡片,晶片,基片,TO导电玻璃等工艺,制版的表面涂硬。
该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。
通常配无油真空泵一起使用。经过20多年的发展,目前产品占国内市场的70%以上。
目前的型号有KW-4A型和KW-5型。
开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
转速在500~8000转/分范围内非常稳定。
采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。
具有定时功能。
测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。
“吸片“采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。
在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。
调速范围和匀胶时间
I档调速范围:500-2000转/分;I档匀胶时间:2-18秒
Ⅱ档调速范围:1300-8000转/分;Ⅱ档匀胶时间:3-60秒
适用:5-100mm硅片及其它材料等匀胶(硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等各种材料)。
LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%。
电机功率:40W真空泵抽气速率≥60升/分
体积小,重量轻,操作简便
仪器尺寸:210×220×160mm
标配3个基片托盘:直径8mm,1英寸,2英寸,(4英寸可选配。)
可选配件无油泵
使用说明:
将塑料管接到匀胶机后面板的抽气嘴上。
电源线插座插入无油泵底座“~220V”插孔里。
电源线插头插入电源线接板的~220V。
此泵有两个气嘴,一个气嘴已接好塑料管,另一端接到匀胶机后面板即可,另一只气嘴为出气嘴,不要堵住。
电源开关“O”为关闭,“-”为开启。
将开关置于“”位置,真空泵即可运转。
和匀胶机连用时,当需要吸片时,先开泵电源,真空泵应处于工作状态,只需要再按匀胶机面板上的吸气键,即可控制通电。
不工作时将泵上的开关断开。