| 品牌：日本新宇宙 | 型号：COSMOS XP-703D | 加工定制：是 | ||||
| 类型：便携式 | 测量对象：半导体材料气体硅烷氢气 | 测量精度：0.2 | ||||
| 响应时间：10秒以内 | 分辨率：0.2 | 重量：0.5 kg |
型号 | XP-703D | ||||
检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） | ||||
检测原理 | 热线型半导体式 | ||||
采样方式 | 自动吸引式 | ||||
可检测浓度(单位：ppm) | 砷烷 | 磷烷 | 乙硼烷 | 硅烷 | 氢气 |
AsH3 | PH3 | B2H6 | SiH4 | H2 | |
0.2 | 0.3 | 0.1 | 0.5 | 1.0 | |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 | ||||
应答速度 | 10秒以内 | ||||
