SLA5850S数字式质量流量控制器
SLA5850S型数字型气体质量流量控制器内置微小处理器，可实现与PLC.PC等设备的数字通讯，能满足3sccm至30slpm（N2为标准气体）
的流量测量与控制，同系列的产品最大能满足最大2500SLPM（N2为标准气体）的测量及控制要求，产品广泛应用于半导体，化学化工，
太阳能电池，燃料电池，LED,分析设备，制药设备，钢铁等行业
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%
高精度
流量范围宽 - 从0.003一直到 2500 lpm
最高耐压等级 - 高达 1500 psi/100 bar（可选：4500 psi/310 bar）
可编程多气体/多量程功能
可单独轻松访问的诊断/维护端口
包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模拟接口在内的各种通信选择
采用模块化设计，无论在工厂或是现场使用均非常易于维护
传感器的长期稳定性可降低对维护和定期校准的要求，从而降低总体经营成本
布鲁克斯仪器独有的热感测技术可提供绝佳的信噪比性能从而提升低设定值条件下的测量和控制精度
选择一个设备平台即可满足不同气体和流量范围的需求
可存储并预先设定多达六种气体校准信息，用户仅需一台设备即可在不同气体和量程间轻松切换并减少库存
对用户开放的服务端口简化了安装、故障排除和诊断操作并且不会干扰流量控制器工作
耐用、稳定的金属顶盖可防止设备在安装期间受损
多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
基于国际标准的高级计量系统和初级校准系统可确保设备精度
化学品和石化催化剂研究和试验过程
实验室和分析系统
燃料电池技术
生命科学实验室
